2019年“宝安工匠”霍俊标:妙手回春的半导体工艺“设备神医”

霍俊标既是维修工,又是程序员,还是研发者。

人物简介

霍俊标,1980年生,河南省汝州市人,深圳华远微电科技有限公司制造部副经理,自动化控制工程师。他擅长半导体工艺设备的维修与改进,能够快速解决Panasonic干刻设备、Canon光刻设备、匀胶显影设备等半导体等设备故障,获得过3项国家专利。他修复闲置7年的外国设备,让其得以正常运行,为企业发展作出重要贡献。

在华南地区为数不多的集研发、制造、销售声表面波射频芯片和无线无源温度传感器为一体的国家高新技术企业中,深圳华远微电科技有限公司(以下简称“华远微电”)占据重要地位。

这样的企业数量少,是因为技术门槛高。华远微电制造部副经理霍俊标带领团队冲出重围,推动公司及至行业的健康发展。他是维修工,负责“半导体工艺设备维修与改进”;他是程序员,进行“声表测试系统设计与编程”;他是研发者,研发的声表面波器件打破了国外技术垄断,实现“关键零部件国产化”。

“设备到我手里,就得听我的话”

2012年,霍俊标来到华远微电。同事们惊讶,才几天时间,他就对公司的一切都很熟悉。原来,霍俊标曾在位于宝安区沙井街道的日资企业三洋电子部品厂工作过6年时间。而三洋电子部品厂在中国的生产基地,就是华远微电的前身。

“我在三洋很多年,对设备及测试都有一定的了解。”于是,霍俊标带领团队探索研究,把所有控制系统改装成自己可控制的,并开发了一套测试系统,随时监测各项性能,保证安全生产。

霍俊标坦言,他并不怕设备坏,“我会想着法子修好它,设备到我手里,它就得听我的话。”维修设备时,不管问题大小,霍俊标都要找出原因。“比如一条线路烧坏了,要检查出为何烧坏。如果是短路造成的,又为何短路,设备如何改进才可以避免此类问题。”正是对细枝末节的追求,霍俊标对设备维修越钻越精。

修好闲置7年的设备,给公司节省300多万元

“大多数人只懂设备、工艺或测试,但不知道如何对设备进行维修改进。”霍俊标既懂设备,又懂工艺,还懂测试,自然是维修设备的一把“好手”。

霍俊标擅长半导体工艺设备的维修与改进,每年大约为公司节约200万元费用。在同事们眼里,他就是一个妙手回春的大夫,能把一台闲置多年、连出售机器的日本工程技术人员都认为无法修理的旧设备修好,并一直使用至今。

2014年,霍俊标得知厂里有一台闲置多年的磁控溅射设备。出现故障时,厂里曾联系日方工程技术人员和在上海的经销商,但对方表示实在无法修理。

“如果就此放弃,蛮可惜的。”霍俊标决定想办法“救活”这台设备。在国内没有任何图纸资料和相关改造案例的情况下,霍俊标用一个月的时间摸索,终于把这台沉睡了7年的设备修好。这次的成功维修,直接给厂里节省了300多万元。

研发声表面波器件,打破国外技术垄断

在维修设备的同时,霍俊标还投身到研发中。他先后获得“用于测试声表面波谐振器的测试系统及其测试方法”的发明专利,以及“一种旋转喷淋湿法蚀刻装置”“一种防雷击的视频监控系统”等多项实用新型专利。

在声表测试系统的设计与编程方面,霍俊标熟悉声表谐振器及滤波器的测试方法,熟练掌握了网络分析仪的使用及编程方法,能够使设计测试系统与测试设备相匹配。

多年来,他既充当“半导体工艺设备维修与改进”的维修工,又是“声表测试系统设计与编程”的程序员。而他研发的声表面波滤波器,实现了国产替代,打破国外技术垄断。

宝安日报记者 何冬英 通讯员 邬云 张璐婷 文/图



[责任编辑:谢莹]

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